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爱德华干泵的适用范围都有哪些呢,现在知道还不晚

发布时间:2020-12-15   点击次数:286次
   爱德华干泵的适用范围都有哪些呢,现在知道还不晚
  爱德华干泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
  本产品结构由一级根部级和多级反爪级组成。泵进口设有单级罗茨级,其次为三级爪级,使低压区效率更高。第二级爪的反设计使二级爪的出口与第二级的入口成直线,从而实现了直接的短气路。短程、简单、高电导率的气路有助于提高真空性能和功率利用率,并可获得可冷凝蒸汽和颗粒处理能力。
  本产品三级爪形结构,可实现真正的非接触、自阀(用于轻气体吸入)、自清洗(适用于恶劣环境或颗粒物生产应用)和优化的内部温度分布(提高蒸汽处理能力);并保证泵能在额定值下连续运行从大气压。
  爱德华干泵的适用范围都有哪些呢?赶紧来看看吧。
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  爱德华干泵配有轴封吹扫装置(N2或压缩干空气CDA),在泵的扫过容积和油齿轮箱之间形成一个气障,避免工艺气体进入密封,并防止齿轮箱的油进入扫过容积,保证很高的清洁度。在没有压缩气体供应的地方,如果运行压力持续低于133毫巴(100托),且不存在有毒、易燃或腐蚀性气体时,可使用大气密封吹扫包。
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