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阿特拉斯真空泵常见的几种类型及其发展趋势分析!

发布时间:2020-06-29   点击次数:108次
   阿特拉斯真空泵常见的几种类型及其发展趋势分析!
  阿特拉斯真空泵是一种非常重要的真空设备。根据产生真空的原理,可分为:容积式真空泵(如液环泵、螺杆泵、罗茨泵等);动量传递真空泵(如分子泵:喷射真空泵:扩散泵);气体捕集真空泵(如钛升华、锆铝合金吸泵、,低温泵溅射离子泵,热蒸发钛升华)泵等)。
  真空通常由专用抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

阿特拉斯真空泵

  阿特拉斯真空泵常见的几种类型有哪些?它们各自的发展趋势又是如何的?
  1、水环式真空泵是一种变量泵,它能泵出易燃、易爆、腐蚀性气体以及含尘、潮湿气体。本实用新型结构简单,维修方便,磨损小,安全性高,输送气体无污染。水环泵的主要原材料是铸件,加工简单,属于劳动密集型产品。因此,与进口泵相比,国产泵具有价格优势,目前应用范围广。目前,国内液环泵生产企业应主要从减重、体积、能耗、效率等方面改进产品
  2、旋片式真空泵是最基本的真空获取设备之一。它是一种油封式机械真空泵,适用于真空包装、真空成型、真空抽吸等密闭系统中的气体抽取,具有体积小、重量轻、噪音低、真空度高等优点。国产旋叶泵在技术上已达到标准,价格远低于进口泵,具有一定的竞争优势。目前需要解决的主要问题是叶片材质、轴封漏油等问题,以及抽汽叶片泵的研制。
  3、滑阀式真空泵是一种油密封的变容积真空泵,可用于抽取一般气体或含有少量气体的可冷凝气体。与旋片式泵相比,具有工作压力高(104pa)、抽气量大、在恶劣工况下使用、经久耐用等优点。主要用于真空熔炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等领域,由于铸造工作量大,加工工作量大,许多国外厂家希望与国内真空泵企业合作。为了加快进口产品的更新换代,国产滑油泵需要在降低振动和噪音、防止喷油和漏油等方面对其产品进行优化。
  4、干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵采集设备,具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用,包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等,这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业,约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。目前,国内干式真空泵的应用还不到1%,市场占有率不到1%。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此,应加强国产干式真空泵的研发,使之成为我国真空行业新的经济增长点。
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