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镀膜机真空泵的用途及注意事项有哪些?

发布时间:2020-06-05   点击次数:121次
   镀膜机真空泵的用途及注意事项有哪些?
  镀膜机真空泵主要起到抽真空的作用,这是因为当进行真空镀膜时,薄膜材料应首先蒸发成原子或分子,然后以较大的自由程沿直线移动,与基底表面碰撞并冷凝形成薄膜。如果涂层室中气体分子过多,会频繁地与蒸发材料的原子或分子碰撞,影响蒸发材料的原子或分子到达基体并形成薄膜。如果残留气体分子太多,会降低薄膜的纯度和硬度,蒸发物质容易氧化产生杂质。
  本产品主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。这些都主要是通过轴承与偏心轮压在一起的连杆,偏心轮压在连杆轴上。由于转轴的转动,带动连杆在气缸内来回运动,实现吸气、压缩、排气的过程。
  镀膜机真空泵的用途及注意事项介绍:
  l、真空泵不适用于抽吸腐蚀金属、与泵油发生反应、含有颗粒粉尘、含氧过高、爆炸性、有毒气体的气体。
  2、真空泵在环境温度5℃~40℃范围内,进气口压强小于10托的条件下,允许长期运转,被抽气体相对温度大于90%时,应开气镇阀。
  3、真空泵进气口连续敝通大气运转不得超过3分钟.
  4、真空泵是抽气的基本设备。可单独使用或与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接作为前置泵。广泛应用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂装、焊接、冶炼及实验室设备。
  我们平时在安装镀膜机真空泵的时候,都应注意该产品应与系统的连接管道密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。
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