技术文章您现在的位置:首页 > 技术文章 > Edwards爱德华IXM系列干式真空泵工作原理

Edwards爱德华IXM系列干式真空泵工作原理

发布时间:2021-11-24   点击次数:32次

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD


有关任何特定应用条件下 ixm 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。


东莞市品雅真空设备有限公司

东莞市品雅真空设备有限公司

地址:东莞市寮步镇坑口社区兴隆路4号

© 2021 版权所有:东莞市品雅真空设备有限公司  备案号:粤ICP备17132888号  总访问量:73767  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

13712084852

86-0769-83283731